В России сформируют производство химических материалов для микроэлектроники

Минпромторг запускает программу импортозамещения химических реактивов для микроэлектроники: общая стоимость контрактов на разработку технологий производства шести критически важных соединений превышает 1,9 миллиарда рублей. Речь идет не просто о закупках, а о создании с нуля отечественных компетенций в сегменте, который ранее полностью зависел от зарубежных поставок.

Смена технологического базиса: от закупок к собственным НИОКР

Отказ от импорта ключевых химикатов поставил российскую микроэлектронику перед жестким выбором: либо найти способ синтезировать сырье внутри страны, либо столкнуться с остановкой производственных линий. Ведомство выбрало первый путь, инициировав серию научно-исследовательских работ. Цель — разработать промышленные регламенты для получения шести веществ, без которых выпуск современных микросхем невозможен. В перечень вошли сернокислый аммоний, высокочистый оксид бора, трибромид бора, высокочистый фосфор, марганцовокислый калий и особо чистая перекись водорода. Каждое из этих соединений выполняет уникальную функцию в процессах легирования, травления и очистки кремниевых пластин. Стоимость отдельных контрактов варьируется от 150 до 780 миллионов рублей, что отражает различную сложность и капиталоемкость проектов.

Распределение заказов: кто будет создавать новую химию

Ключевым условием программы стало привлечение профильных институтов и университетов, уже имеющих научный задел. Распределение заказов выглядит следующим образом:

• НИЦ «Курчатовский институт» получил задачу по освоению выпуска сернокислого аммония — реагента, используемого в качестве травителя и компонента электролитов.
• Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева займется высокочистым оксидом бора, критичным для создания легирующих слоев.
• Инжиниринговый химико-технологический центр на базе Томского госуниверситета возьмется за трибромид бора — один из основных источников бора для ионной имплантации.
• АО «Гиредмет» поручена разработка технологии выпуска высокочистого фосфора, необходимого для создания n-типа проводимости в полупроводниках.

Работы по всем направлениям должны быть завершены до конца 2025 года. Это жесткий срок, учитывая, что речь идет не о лабораторных образцах, а о масштабируемых промышленных технологиях. Ужесточение санкционного давления в 2022 году привело к тому, что такие гиганты, как Merck KGaA и BASF, прекратили поставки в РФ специальных химикатов для электронной промышленности. Российские производители микросхем оказались перед фактом: запасы дорогостоящих реактивов высокой степени очистки (класса «особо чистые») небезграничны. Именно тогда Минпромторг начал экстренный поиск решений, результатом которого стал текущий пакет заказов. Успех этой программы станет лакмусовой бумажкой для всей стратегии технологического суверенитета. Если к 2025 году удастся наладить выпуск хотя бы четырех из шести заявленных веществ, это создаст прецедент для масштабирования на другие номенклатуры. Однако риски велики: получение химикатов чистотой 99,9999% (6N) и выше требует не только рецептуры, но и специального оборудования, которое также попало под санкции. Фактически, институтам предстоит не просто повторить зарубежные технологии, а разработать собственные обходные пути — от синтеза до методов финишной очистки.