Китайская CIQTEK представила микроскоп с информационным разрешением 0,1 нм для проверки чипов
- Компания CIQTEK из Хэфэя представила просвечивающий электронный микроскоп TEM-F200 с ускоряющим напряжением 200 кВ и заявила о готовности к серийным поставкам.
- Информационное разрешение прибора составляет 0,1 нм, точечное — 0,25 нм; на образцах транзисторов FinFET получено изображение кристаллической решётки с разрешением около 0,1045 нм.
- Сведения о стоимости, объёмах заказов и количестве уже изготовленных приборов не опубликованы.
Китайская компания CIQTEK показала просвечивающий электронный микроскоп TEM-F200, который предназначен для изучения структуры материалов на атомном уровне. Презентация прошла 18 октября 2026 года на Национальной конференции по электронной микроскопии в Нанкине. По словам разработчика, ключевые компоненты прибора созданы собственными специалистами, а его характеристики соответствуют уровню современных зарубежных аналогов.
Как устроен прибор и что он умеет
В отличие от оптического микроскопа, TEM-F200 пропускает пучок электронов через очень тонкий образец. Так можно увидеть расположение атомов в кристаллах, границы между разными материалами и мельчайшие дефекты. Прибор рассчитан на ускоряющее напряжение 200 кВ. Его точечное разрешение — 0,25 нм, то есть на таком расстоянии он различает два близко расположенных элемента структуры. Информационное разрешение, 0,1 нм, относится к масштабу деталей, которые система способна передать, и достигается за счёт цифровой обработки изображения.
Качество картинки, по данным CIQTEK, обеспечивают стабильный высоковольтный источник питания, система охлаждения электронно-оптических компонентов и камера Xingyao-16M с разрешением 4096 × 4096 пикселей. Камера записывает до 24 кадров в секунду при полном разрешении. Прибор также умеет определять химический состав образцов.
Зачем это полупроводникам
Основное применение, по замыслу производителя, — полупроводниковая промышленность. С уменьшением размеров элементов микросхем заводам приходится контролировать толщину тонких плёнок, качество соединений между слоями и кристаллическую структуру. Даже небольшие нарушения влияют на характеристики и надёжность компонентов. Демонстрация CIQTEK проходила на образцах современных устройств: транзисторах FinFET и микросхемах памяти. Кроме того, прибор можно использовать для металлических сплавов и наночастиц.
Одновременно с TEM-F200 компания показала более доступную модель TEM-F120, которая ориентирована в том числе на биологические исследования. Сам TEM-F200 появился не на пустом месте: в 2024 году в Китае представили коммерческий микроскоп на 120 кВ, а в 2025-м компания Bozhon Instruments продемонстрировала модель на 200 кВ.
Производитель говорит, что готов к серийному выпуску и поставкам, но главные вопросы остаются открытыми: сколько приборов уже собрано, на какие заказы они рассчитаны и во сколько обойдутся лабораториям и заводам. Без этих данных трудно оценить, насколько быстро новый микроскоп сможет заменить зарубежное оборудование на практике.
Источники: 3DNews, Новая наука
