Все EUV-сканеры ASML расписаны до конца 2027 года — компания начала строительство нового завода

Мировой рынок литографического оборудования столкнулся с парадоксальной ситуацией: спрос настолько высок, что единственный производитель передовых сканеров физически не успевает его удовлетворять. Компания ASML, контролирующая около 94 % рынка литографических сканеров, распределила всю квоту на выпуск EUV-систем до конца 2027 года. Каждая такая установка стоит порядка $200 млн, и очередь из желающих получить их быстрее и больше не сокращается.

Финансовый директор ASML Роджер Дассен прямо говорит, что ажиотаж вокруг оборудования для выпуска чипов не думает утихать. Крупные заказчики всё настойчивее просят не только дополнительные объёмы, но и ускоренные сроки поставок. «Я не думаю, что мы находимся в конце (ИИ-бума), откровенно говоря», — признался топ-менеджер, комментируя ситуацию.

На этом фоне компания заложила фундамент нового предприятия в Нидерландах, которое должно расширить производственные мощности. Однако даже строительство дополнительных площадок не способно мгновенно снять напряжение: цикл производства литографических систем слишком сложен и растянут во времени.

Следующая технологическая ступень — оборудование поколения High-NA, сочетающее сверхжёсткое ультрафиолетовое излучение (EUV) с высокой числовой апертурой. Стоимость одной такой установки превышает $400 млн. Она позволяет создавать полупроводниковые структуры на 40 % меньшего размера, чем классические EUV-сканеры. Ключевые игроки уже определились с планами:

• TSMC начнёт применять High-NA с 2030 года;
• Intel уже обработала с помощью подобного оборудования 1 млн кремниевых пластин типоразмера 300 мм;
• Samsung Electronics и SK hynix готовы внедрить High-NA с 2028 года;
• Micron Technology заказала образцы, но со сроками массового внедрения не определилась.

Показательно, что производители памяти настроены внедрять High-NA раньше производителей логических компонентов. Причина прагматична: им необходимо выпускать более компактные чипы, и новое оборудование даёт для этого больше возможностей. По словам Дассена, практически все они начинают использовать такие системы в массовом производстве раньше, чем планировали изначально.

Конкурентов у ASML в сегменте EUV по-прежнему нет. Попытки японских и китайских производителей создать аналогичные системы так и не дошли до стадии серийного выпуска. Это превращает компанию в незаменимого поставщика для всей мировой полупроводниковой отрасли — и одновременно в её узкое место. Пока одни игроки делят квоты на годы вперёд, другие только заказывают образцы, и этот разрыв будет определять расстановку сил в производстве чипов на ближайшее десятилетие.